| このページでは、弊社が過去に学会・専門誌等各方面でリリースした論文・記事を掲載しています。 |
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Development
of 6-axis Motion Sensors
Using Piezoelectric Elements.
（第２１回センサシンポジウム、2004年） |
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Development
of 3-axis Gyro-Sensor Using
Piezoelectric Element.
（第２０回センサシンポジウム、2003年） |
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Micromachined
5-Axis Motion Sensor with
Electrostatic Drive and
Capacitive Detection.
（第１８回センサシンポジウム、2001年） |
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ベンチャービジネスとマイクロマシーニング
（電気学会、2000年） |
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The
5-Axis Motion Sensor
（第１６回センサシンポジウム、1998年） |
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HIGH-SENSITIVE
THREE AXIS SOI CAPACITIVE
ACCELEROMETER USING DICING
METHOD
（第１６回センサシンポジウム、1998年） |
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3軸加速度センサ
〜ピエゾ抵抗効果、静電容量、
圧電効果を利用した3軸加速度センサ〜
（計測技術、1997年） |
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加速度を検出するセンサ
〜検出対象別にみたセンサ活用技術〜
（自動化技術、1994年） |
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3軸ピエゾ抵抗型加速度センサ
（センサ技術、1993年） |
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Development
of Tri-Axial Accelerometers
Using
Piezoresistance,
Electrostatic Capacitance
and Piezoelectric Elements
（第１３回センサシンポジウム、1993年） |
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Tri-Axial
Piezoresistive Accelerometer.
（第１１回センサシンポジウム、1992年） |
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Flat-Type
Six-Axial Force-Sensor.
（第９回センサシンポジウム、1990年） |
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